更高效率,更低成本
Explorer是多功能的高真空研发和中试生产平台,其配置可为电子束(e-beam) 蒸发、电阻蒸发...
DV-502 热蒸发系统蒸发光学镀膜、金属化和电子显微镜样品制备中涉及的许多金属,且没有可辩的污染
Desktop Pro可以提供共聚焦溅射以及磁性和/或介电材料的沉积。
可用于热蒸发和样品制备,是一种功能强大、用途广泛的高真空蒸发和溅射系统
Desk V样品制备系统配制用于蒸发和溅射,是一种高生产率的解决方案,可提供卓越、一致和高度可重复的...
激光直写、光栅扫描曝光、快速曝光复杂的图形 、灰度光刻、无掩膜光刻
Polymer Pen Lithography (PPL)聚合物笔印刷是新发展起来的图案化方法,结合...
利用电子束在抗蚀剂上书写纳米级图案,通过ELB设备曝光和显影,可用于加工sub-10nm的精细结构。