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            应用案例

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            晶圆缺陷

            晶圆表面划痕、凹坑、凸起等缺陷检测

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            电性测试

            晶圆及器件电阻率,掺杂浓度,方块电阻及I-V和RF测试

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            光刻胶

            颗粒数量、金属离子浓度、膜厚、折射率、固含量检测

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            摩擦磨损

            微纳米摩擦、力学表征,摩擦表面轮廓,摩擦磨损情况表征

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            微纳米光学

            光栅、光波导光学器件形貌、电学表征、场强表征

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            纳米材料

            微纳米材料形貌、力学、电学、原位等综合表征

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